本报讯(记者李爱民)记者从哈尔滨市科协获悉,在近日举办的宽禁带半导体材料技术成果鉴定会上,中国电子学会鉴定委员会给予哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司(以下简称科友)8英寸碳化硅长晶设备及工艺“国内领先,国际先进”的高度评价。
鉴定委员会认为 “8英寸碳化硅材料生长装备和工艺技术研发难度大,成果创新性强,具有自主知识产权,关键技术指标达到国内领先、国际先进水平。”鉴定结论充分肯定了科友半导体技术水平的先进性,明确了自主知识产权。
科友是一家专注于第三代半导体装备研发、衬底制作、器件设计、科研成果转化的国家高新技术企业,研发覆盖半导体装备研制、长晶工艺、衬底加工等多个领域,已形成自主知识产权,实现先进技术自主可控。
2022年底,科友通过自主设计制造的电阻长晶炉产出直径超过8英寸的碳化硅单晶,晶体表面光滑无缺陷,最大直径超过204mm。8英寸碳化硅长晶工艺的突破,意味着科友在宽禁带半导体领域取得的又一个重要里程碑,将有助于增强我国在大尺寸碳化硅单晶衬底的国际竞争力,助力我国宽禁带半导体产业的快速发展。